超精密加工系统及加工方法

专利号：201201951                          申请人：鸿海精密工业股份有限公司

发明人：林育安         

摘要：一种超精密加工系统，其包括一个基台，一个固定设置于该基台上之[a1] 第一支撑臂，一个可滑动地设置于该基台上之[a2] 第二支撑臂，一个可转动地设置于该第一支撑臂上之[a3] 旋转轴，一个设置于该第二支撑臂上且可相对于该支撑臂滑动之[a4] 加工刀具，一个位于该旋转轴上方之[a5] 侦测装置以及一个控制装置。该控制装置用于根据该侦测装置之[a6] 侦测结果计算该旋转轴之[a7] 偏移量并根据该偏移量发出控制指令调整该加工刀具以抵消该旋转轴偏移所引起之[a8] 加工误差。本发明还涉及一种超精密加工方法。