专利号：TW I271320                       申请人：明基电通股份有限公司

发明人：沈光仁；陈苇霖；洪益智

摘要：本发明提供一种单石化流体喷射装置及其制造方法，此单石化流体喷射装置包括一基底，具有一第一表面，且上述基底之中具有一流体通道：一保护层，形成于上述基底之上述第一表面上；一电镀起始层，形成于上述保护层上方；一金属结构层，形成于上述电镀起始层上，此金属结构层与上述基底之上述第一表面间形成一流体腔，且上述保护层与上述金属结构层之中具有一喷孔，与上述流体腔连通。上述之单石化流体喷射装置可包括一抗化性金属薄膜，形成上述金属结构层上，且上述抗化性金属薄膜从此金属结构层上表面延伸至上述喷孔内。