摘要：本发明涉及一种自动校正机械手臂。该自动校正机械手臂，其包括一主体，一用以承载晶圆之承载夹持机构以及至少一个与主体及承载夹持机构相连接之连接臂，其中，该自动校正机械手臂还包括设置于承载夹持机构上之复数个光学感测器及复数个位移感测器，该复数个光学感测器用以确定晶圆之圆心，该复数个位移感测器分别设置于承载夹持机构上，且该复数个位移感测器位于至少两条直线上以感测确定晶圆之相对水平度。