調節裝置及調節用於化學機械研磨的研磨墊的方法 - 专利与成果

調節裝置及調節用於化學機械研磨的研磨墊的方法

发布时间：2020年07月31日

調節裝置及調節用於化學機械研磨的研磨墊的方法

专利号 202023754 申请人台灣積體電路製造股份有限公司 (TW)
发明人黃君席 (TW)
一種用於調節在化學機械研磨中使用的研磨墊的調節裝置，包括具有開口的基座及可移除地附接至基座的調節盤。調節盤包括：調節部分，安置在基座的第一表面上；以及配合部分，可移除地配合至基座的開口中或穿過基座的開口。配合部分穿過開口配合至基座或在開口中配合至基座，以防止調節盤在調節用於化學機械研磨製程的研磨墊的製程期間自基座脫落。

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