专利号：I669445               申请人：旺矽科技股份有限公司

发明人：李岳穎   克里斯塔 赫爾格 雅各布   張盈喬

    摘要：一種具有消音功能的氣體排放裝置包含排放管、外管、至少一擋板以及消音元件。排放管具有排放口，排放管沿長軸方向的一端具有第一端面，第一端面毗鄰排放口。外管套設於排放管外，且外管具有相連通的通道以及出口，出口毗鄰第一端面，通道用以流通乾淨乾燥氣體至出口。擋板設置於出口外，使得乾淨乾燥氣體在通過出口時，至少部份被擋板制擋轉向而吹往第一端面，擋板具有第二端面，至少部分朝向排放管之中心線，第一端面與第二端面之間形成導引口。消音元件位於出口，且至少部分分隔於導引口與通道之間。