摘要：一種多軸向抑振模組，包括殼體、質量塊、多數致動抑振組及對應的感應器；殼體連結一機台，質量塊設置於殼體之內；各致動抑振組在不同軸向支撐質量塊，包括預壓調整件、彈簧、壓電致動器及止推軸承；預壓調整件依序對彈簧、壓電致動器與止推軸承施予預壓，而使止推軸承抵緊質量塊；感應器用以感應質量塊在各軸向之振動，並將訊號傳送處理後驅動致動抑振組以對質量塊上的檢測器進行即時抑振補償。