台湾“中山大学”成功建置“自动化晶圆级光栅参数撷取系统

台湾“中山大学”光电工程学系洪勇智博士领军的积体光电元件实验室成功建置新型全像术曝光系统——自动化晶圆级光栅参数撷取系统。该系统能在3英寸半导体激光晶片上制作高均匀度光栅结构，大幅提升光通讯制程效率；能降低厂商检测时间，提高元件产量2～3倍，大幅提升品质验证可靠度，有助强化与下游厂商的合作关系，提升产业竞争优势。积体光电元件实验室还与台湾工研院激光中心合作建立了商用原型机，检测整片2英寸晶片光栅所需时间小于10分钟，短于人工量测单点时间，成效显著。台湾工研院技转法律中心将协助积体光电元件实验室发掘技术多领域应用的可能性，未来有机会应用于旋转编码器、生物晶片、图形化蓝宝石基板、电子装置触控膜等制程上。